Kapasitiv trykksensor er en slags trykksensor som bruker kapasitans som et følsomt element for å konvertere det målte trykket til en kapasitansverdiendring.Denne typen trykksensor bruker vanligvis en rund metallfilm eller gullbelagt film som en elektrode på kondensatoren, når filmen føler trykket og deformeres, endres kapasitansen som dannes mellom filmen og den faste elektroden, og det elektriske signalet kan bli utgang med et visst forhold mellom spenningen gjennom målekretsen.
Kapasitiv trykksensor tilhører den kapasitive sensoren for polar avstandsvariasjon, som kan deles inn i enkelt kapasitiv trykksensor og differensial kapasitiv trykksensor.
Den enkelt-kapasitive trykksensoren er sammensatt av en sirkulær film og en fast elektrode.Filmen deformeres under påvirkning av trykk, og endrer derved kapasiteten til kondensatoren, og dens følsomhet er omtrent proporsjonal med arealet og trykket til filmen og omvendt proporsjonal med spenningen til filmen og avstanden fra filmen til den faste elektroden .Den andre typen fast elektrode er konkav sfærisk form, og membranen er et strekkplan festet rundt periferien.Membranen kan lages ved hjelp av plastgullbeleggmetoden.Denne typen er egnet for måling av lavt trykk og har høy overbelastningskapasitet.En enkelt kapasitiv trykksensor kan også være laget av en membran med et stempel som beveger seg for å måle høyt trykk.Denne typen reduserer det direkte kompresjonsområdet til membranen slik at en tynnere membran kan brukes for å forbedre følsomheten.Den er også integrert med ulike kompensasjons- og beskyttelsesseksjoner og forsterkerkretser for å forbedre anti-interferensevnen.Denne sensoren er egnet for dynamisk høytrykksmåling og telemetri av fly.Enkeltkapasitive trykksensorer er også tilgjengelige i mikrofontype (dvs. mikrofontype) og stetoskoptype.
Trykkmembranelektroden til den differensialkapasitive trykksensoren er plassert mellom to faste elektroder for å danne to kondensatorer.Under påvirkning av trykk øker kapasiteten til den ene kondensatoren og den andre reduseres tilsvarende, og måleresultatet sendes ut av en differensialkrets.Den faste elektroden er laget av et gullbelagt lag på en konkav buet glassoverflate.Membranen er beskyttet mot brudd av den konkave overflaten under overbelastning.Differensialkapasitive trykksensorer har høyere følsomhet og bedre linearitet enn enkeltkapasitive trykksensorer, men de er vanskeligere å behandle (spesielt for å sikre symmetri), og de kan ikke oppnå isolasjon av gassen eller væsken som skal måles, så de er ikke egnet for arbeid i væsker med etsende eller urenheter.
Innleggstid: 19. juni 2023